多层复合吸波材料凭借其高效的吸波性能和更大的吸波带宽得到越来越广泛的研究和应用。多层复合吸波材料的涂层厚度和电磁参数是材料结构设计、吸波性能优化和评估的最重要参数，其涂层厚度测试技术历来都是研究的难点与热点。　　 本文在对国内外相关研究动态做了大量调研，总结比较目前几种成熟的厚度无损检测技术的基础上，针对在多层复合吸波结构厚度及介电常数同步无损检测研究方向上的空白，提出将平面多电极探头变极距多点探测的基本原理应用于多层复合吸波涂层厚度和相对介电常数的无损测量中，实现多层吸波结构各层厚度和介电常数多个待测量同步检测的思路。　　 应用数值保角变换方法推导基于平面多电极探头的多层膜电容解析模型，从探头的理论模型上克服了传统电容式传感探头由于存在边缘效应和互电容引起的非线性影响。根据此模型采用FORTRAN语言编写基于无约束单纯形调优算法的计算机辅助处理模块，并设计并制作了灵敏的双电极电容传感探头，结合阻抗分析仪和安捷伦16453A夹具测试技术搭建了一套完善的检测系统。在此基础上具体分析了系统在检测过程中误差补偿与灵敏度提高的方法，尤其拟合出多层复合吸波材料的粗糙度减小因子和电极探头接入电路的电容附加值，系统测试精度可达到5％以上。此外，对于多层吸波材料的各层复电磁参数的同步无损检测，提出了并行的检测理论方案。　　 本文提出的测试方案实现了多层复合吸波材料各涂层厚度与相对介电常数的同步检测，同时克服了现有测厚仪对磁性材料和非磁性材料更换探头的传统理念。方案难度主要体现在计算机辅助处理模块的设计和电极探头灵敏度提高两方面。测试系统操作简便，对材料的电磁特性无要求，可对0.1mm及以上的多层复合吸波材料进行准确测量，具有很强的创新性、实用性和推广性。