本文围绕渐变反射率镜的设计、制备与测试分别从以下几方面开展了研究：使用电子束蒸发技术制备了。TiO2和Ta2O5混合膜料和Al2O3膜料的单层膜样品。测量了样品的透过光谱，利用透过率包络法计算了薄膜的折射率。　　 分析了(超)高斯镜的设计参数要求和膜系结构。研究了三明治型(超)高斯镜膜系的设计方法和厚度变化层厚度轮廓的计算。厚度轮廓和反射光的相位变化随着(超)高斯镜设计参数变化。还提出了全部膜层厚度渐变型(超)高斯镜的设计原理及设计过程。　　 发展了渐变反射率镜的制备方法。根据沉积薄膜的实际需求和具体的沉积设备，设计了掩模和掩模切换装置。该装置能方便安装在箱式电子枪蒸发镀膜机中，可以在一次高真空环境下镀制渐变反射率镜的所有膜层，节约时间，避免对样品的污染。建立通过掩模板制备厚度变化层的理论模型，介绍了掩模板的设计流程并举出了设计实例，还仔细分析了制备过程。　　 分析了渐变反射率镜的两种测量方法，即测量渐变反射率镜的径向厚度轮廓和对于工作波长的径向反射率或透射率轮廓。搭建了渐变反射率镜透射率测试平台，测出了实验样品的反射率轮廓。测试结果表明本文的设计方法与工艺流程能制备出符合要求的渐变反射率镜。