【摘 要】
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硅微机械陀螺仪是一种用于测量角速度的新型惯性器件,具有体积小、重量轻、易于智能化等优点。早期的单质量硅微陀螺仪容易受到轴向加速度的干扰,环境适应性差,从工程使用的实际
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硅微机械陀螺仪是一种用于测量角速度的新型惯性器件,具有体积小、重量轻、易于智能化等优点。早期的单质量硅微陀螺仪容易受到轴向加速度的干扰,环境适应性差,从工程使用的实际角度考虑需设计双质量的结构。但由于硅材料特性会随着温度变化发生改变,使得陀螺仪在输出的精度和稳定性上都受到了温度的影响,所以,对双质量硅微陀螺仪的温度特性研究具有重要意义。 本文以东南大学自主研制的双质量硅微机械陀螺仪作为研究对象,主要工作可归纳为以下几个方面: 首先,结合陀螺仪的基本理论对双质量硅微陀螺仪进行工作原理介绍和运动分析,着重探讨温度对于陀螺仪工作性能的影响机理。 其次,通过大量的温度实验对双质量硅微陀螺仪的谐振频率、品质因数、标度因数和零偏输出随温度的变化规律进行研究,根据实验结果进行定性的分析和讨论。 第三,在上述实验结果基础上,进行双质量硅微陀螺仪温度性能改善的电路补偿方法研究,主要分为标度因数的补偿和零偏输出的补偿,探讨在电路的几个关键点的铂电阻温度补偿,进行计算分析和仿真,完成硬件电路系统设计调试,进行实验验证研究。 第四,通过大量实验验证补偿方法的可行性。本文选用了shg42号双质量硅微陀螺仪进行实验验证。标度因数温度系数由补偿前的500ppm/℃减小到了200ppm/℃,零偏温度系数由100°h/℃降低到了10°/h/℃,证明了补偿方法效果良好。
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