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碳材料是当今材料科学最为活跃的前沿领域之一.碳原子变化的多样性使碳基薄膜材料有不同的结构,研究这样的一种材料不仅具有技术上的重要性,还具有物理上的意义.质量分离的低能离子束技术由于其优越的参数控制性可能制备出从超硬的非晶金刚石薄膜到不同的纳米结构薄膜.以前大部分研究集中于室温沉积的类金刚石薄膜,该论文应用Raman谱,高分辨诱射电子显微镜等技术不仅系统地研究了衬底温度对碳薄膜微观结构的影响,而且还研究了不同碳膜对随后金刚石成核生长的影响.初步探索了室温下沉积的类金刚石薄膜的电子发射以及a-C:H薄膜的光致发光性能.