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石墨烯,拥有二维特殊原子分布规律的新型纳米碳材料,其光学、电学性能优良,在400 nm-800 nm透过率高,物理力学平稳,化学性能平稳,热性能平稳,表面光滑,石墨烯薄膜材料在诸多方面有实用价值,例如:太阳能电池、显示屏、传感器、涂层等。ZnO属于光电半导体材料,其直接宽带隙的特性,在电子器件方面有诸多优异特性和优点。如果将这两种优异的材料复合制备石墨烯-ZnO薄膜,期望能进一步提高其光电学性能。本论文采用AACVD方法成功制备了石墨烯-ZnO薄膜。并且石墨烯-ZnO薄膜分别成功掺杂了Al、N、Al