硅微谐振式压力传感器是最近刚发展起来的具有灵敏度高、性能稳定、体积小、功耗低等优点的新型传感器件,其输出的频率信号可直接与数字接口相连，克服了传统压阻式压力传感器抗干扰性差的缺点。论文首先根据传统的谐振式压力传感器的理论思想，提出了两种不同谐振梁结构的谐振式压力传感器：SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构和Si3N4对角谐振梁结构。两种结构都选用电热激励-压阻拾振方法，复合梁结构的激励电阻以及拾振电阻采用多晶硅电阻，对角梁结构的激励电阻以及拾振电阻采用铂电阻。以固支梁的力学和振动学理论为基础，深入剖析了谐振式压力传感器的模型。采用ANSYS软件建立谐振式压力传感器的仿真模型，并对建立的模型进行了电热、模态以及谐响应有限元分析，确定了芯片的最优结构尺寸，有限元分析结果表明，对于确定尺寸的SiO2-Si3N4-SiO2复合梁结构的谐振式压力传感器灵敏度达到了63.5Hz/KPa，对于确定尺寸的Si3N4对角梁结构的谐振式压力传感器灵敏度为16.24Hz/KPa。基于MEMS加工工艺，设计了SiO2-Si3N4-SiO2复合谐振梁结构和Si3N4对角谐振梁结构制作工艺流程，制作工艺中发现多晶硅牺牲层技术能够更好的得到复合梁结构，通过各向异性腐蚀技术制作的对角梁结构工艺简单。最后，简单介绍了谐振式压力传感器的封装设计以及测试电路设计。