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对声表面波器件进行快速、准确测试,不仅可以表征器件的技术参数和性能指标,而且可为声表面波器件的设计、制作等环节,以及器件优化提供有价值的参考依据。本文针对目前声表面波器件测试存在的不足基于矢量网络分析仪对声表面波器件测试系统及装置进行了研究和设计。 针对使用矢量网络分析仪进行声表面波器件测试时,操作步骤多,对测试人员操作规范要求高,并且尚未出现系统的开发软件对器件进行远程测试的这些问题,设计了一套基于矢量网络分析仪的声表面波器件自动测试系统软件。首先,通过交叉型网线将计算机与矢量网络分析仪连接;其次,在计算机上利用VB强大的交互能力设计声表面波器件测试操作界面;最后,调用VISA-COM函数库,对软件进行编程,向矢量网络分析仪发送SCPI命令完成了仪器校准、测试参数设置、测试结果保存、显示、传输、分析、导出等功能。该软件通过上位机控制矢量网络分析仪实现了对声表面波器件的频率响应、相频响应以及阻抗值的测试,以较高的自动性和稳定性,大大地提高了声表面波器件测试的效率。 针对声表面波器件测试装置与矢量网络分析仪连接的不稳定,多次装卸校准套件的不便,以及多次装卸校准套件会造成套件磨损的问题,提出了一种基于矢量网络分析仪的声表面波器件测试装置。该装置由矢量网络分析仪、测试校准装置和 BNC连接组件组成。通过 BNC转接头将矢量网络分析仪与测试器件和校准套件连接,利用自锁开关实现了校准端口和校准类型的选择,避免了多次装卸校准套件引起的不便和磨损,相对地减少了测量误差。 将基于矢量网络分析仪的声表面波器件系统软件与测试装置结合,对中心频率为101.764MHz声表面波器件进行频率响应特性的自动测试。声表面波器件测试参数设置、校准均可通过点击上位机按钮和测试装置开关完成,并且通过上位机可查看测试结果图片、数据以及数据分析结果,以较小的误差和较高的自动化性完成了声表面波器件的测试,并实现了对测试结果的保存、传输、导出与分析。