本文是基于美国库力索法半导体集团公司在中国投资的子公司洁净厂房的设计、施工和验收的基础上,提出的"半导体工业的环境工程设计与展望"课题,目的在于进一步研究、探索新兴的半导体工业的环境工程,从节约成本,综合利用自动控制的先进技术来达到一个新的环境工程需求.本文完成的主要工作有:(1)介绍了半导体的概念及主要产品,半导体的迅猛发展和未来展望,由此导出半导体生产所需要的环境工程,以及研究的内容、目的和意义.(2)简单介绍了半导体生产所需要的环境,温度、湿度和洁净度;概述了洁净厂房的设计原则、施工方案、验收方案和标准;对洁净室的自动控制进行的探讨和研究;分析了对空间环境的品质全面调节与控制阶段,即所谓人工环境工程阶段所面临的挑战.(3)对半导体生产所必备的纯净水的制造方法进行了分析研究;提出了EDI的新技术及其应用;EDI的优点和原理分析;工艺流程和功能分析;对如何实现EDI新技术的自动化控制进行了探讨;导出了新技术带来的成本和质量效益;以及提高我国的纯净水制造技术.(4)如何应用现代的科学技术对半导体高科技产品进行安全保密工作;保安、防盗、监控、门禁的设计规范;科学性、合理性、可靠性、经济性的体现;探讨如何实现完全自动化控制的功能以及一些技术参数确定.(5)根据以上的研究和探讨,提出了对半导体以及其它高科技产品的环境工程问题和发展方向;提出了对未来的环境工程完全实现自动化控制的设想;最后以库力索法半导体(苏州)有限公司的生产环境工程为实例,以及半导体行业迅猛发展的现状,来说明了环境工程的经济性和重要性.