提高CCD用于非接触式检测小尺寸精度的研究及其模拟实验

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电荷耦合器件(CCD)是七十年代初发展起来的一种新型半导体固体摄像器件,具有体积小、重量轻、寿命长、响应速度快、可靠性高、灵敏度高、动态范围广、易与计算机连接、操作容易、维护简便等特点,一经问世就受到诸多的关注,使它在军事及民用领域占有一席重要的地位。 随着科学技术的发展,特别是近代电子技术的发展,使几何量测量技术向着高精度、高效率、自动化、动态检测和自适应控制方向发展。将CCD应用于几何量测量可以实现高精度、高效率、自动化、动态检测、非接触测量等要求,尤其对小尺寸的测量具有很强的优势。 论文首先介绍了CCD的发展概况及CCD应用于小尺寸测量的意义,然后通过对驱动电路的设计,光学系统的分析,以及对视频信号处理方法的研究,从理论上和参数设计上对如何提高CCD检测小尺寸测量精度的问题进行了深入的分析,最后通过模拟试验对前述理论分析结论提供数据支持。
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