随着半导体技术日新月异的发展，计算机、通讯技术等行业发生了根本改变，有力地推动了当今IT产业的发展。而这些重大改变都是因为半导体硅材料的技术发生了重大的突破，目前硅材料大部分都是用来制造单晶硅来生产IC器件使用的。　　 直拉法单晶炉目前已经成为半导体材料制造行业领域改进设备，提高成晶率的重要课题。在直拉法单晶炉的拉晶过程中，氩气占着非常重要的作用。氩气由上至下贯穿单晶生长的区域，及时地带走硅原料中因高温而挥发出来的硅氧化物和杂质挥发物并使单晶炉体内部保持亚真空状态。本论文课题设计了独立的单晶炉氩气控制子系统：搭建了以C805IF040单片机为核心和以CAN通讯的数据传输为基础的硬件检测与控制平台；使用DG128单片机驱动液晶屏的显示模块方便观察当前氩气控制子系统的各个仪器工作状态；并在该硬件平台上实现了基于蝶阀的带非线性校正的PID控制算法，经过实际的调试得到了比较好的调试效果，满足了控制系统对氩气流量的控制需求。