直拉单晶硅是半导体和太阳能行业的最基础的材料。随着半导体和太阳能技术的飞速发展，对单晶硅材料制造业也提出了更高的要求。单晶炉是直拉法制备硅单晶的关键技术装备，近年来，自主研发的直拉单晶炉正向着大投料量、大直径、高品质以及全自动控制的方向发展。硅单晶的生长是在多个电机的驱动下，在一个合理的热场下完成的。因此，一套平稳的、精确的运动控制系统和高精度的温度控制系统是必不可少的。　　 首先，本文针对单晶炉运动系统部分测量信号和控制信号较多，并且对控制系统的高精度和高可靠性的要求，详细描述了基于CAN总线的单晶炉运动系统的设计方案，其中包括单晶炉慢速系统、快速系统以及副室旋转系统的硬件电路设计，以及控制程序的编写流程。研制的单晶炉运动系统已在实际生产，中应用，根据使用的情况来看，该全自动运动系统达到了设计的要求和目标。　　 再次，本文还针对高精度的温度控制系统的要求，详细描述了基于CAN总线的温度控制系统的设计方案，其中包括温度采集子模块的硬件电路设计、程序的编写流程和在PLC上实现PID控制温度系统。研制的温度控制系统已经进行测试，根据初步测试的结果来看，温度控制系统已经达到了平稳、高精度的要求。