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掺铝氧化锌(AZO)作为一种重要的透明氧化物导电薄膜,被应用在各个领域当中。AZO价格低廉、制备简单,且光电性质优异,可见光区平均透射率达80%,这些优点使得AZO受到了研究人员的广泛关注。在表面等离子体领域,AZO成为替代传统金属表面等离子体材料的重要选择,金属表面等离子体材料实现波长集中在可见-紫外区域,而AZO的载流子浓度可达10~(18)-10~(20)cm~(-3),在红外波段可实现表面等离子体,拓宽了表面等离子体的波长范围,并因掺杂特性具有良好的可调谐能力,成为研究红外表面等离子体增强的