面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计

被引量 : 26次 | 上传用户：rongsiyouyu

【摘要】

：

随着微光学技术的不断发展和成熟,微光学元件(MOE)制作工艺已经成为其应用领域拓展的重要技术瓶颈之一。纳米压印技术作为MOE新兴制造工艺,因其能够突破传统微细加工极限分辨率并降低加工成本而备受关注。先进的加工技术离不开先进的设备,因此研制一种性能良好、使用方便、可靠性高的压印设备对于MOE加工技术的发展显得尤为重要。针对课题组前期研发的热压印设备存在的问题及不稳定因素,本文从功能、集成度、整体性能

【作者】

：

尹继伟

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2011年06期

【关键词】

：

纳米压印微光学元件热电偶温度控制

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

基于X射线脉冲星导航的仿真系统研究

随着人类空间技术的发展,空间活动范围逐渐从地月系拓展到太阳系的其它行星甚至太阳系之外的空间,也就是通常所说的深空。目前实践验证可行的深空导航方式是基于美国深空网的

学位

X射线脉冲星导航仿真系统算法耦合关系

基于PSoC3的超声电机驱动控制器的研究

本课题来源于国家自然科学基金项目《压电精密致动技术的基础研究》（项目编号：50735002）。超声电机（USM）是利用压电材料的逆压电效应，使弹性体（定子）在超声频段内产生振动，通过定子和转子之间的摩擦获得运动和扭矩。超声电机的发展依赖高性能的驱动技术。传统超声电机驱动器调速手段单一、适用性较差、控制功能有限，无法满足超声电机发展的需要。本文提出了一种基于SPWM方式的驱动控制器，解决了单一电源供

学位

超声电机驱动器前级电源SPWM信号PSoC3芯片孤极电压反馈

航空发动机装配数字化系统研究

装配是制造过程中的最后环节，也是最为重要的制造环节之一。在已有的航空发动机设计方案和加工技术水平条件下，装配的质量和工作效率对于航空发动机的质量、性能和生产效率具有

学位

航空发动机装配数字化面向对象分析和设计五层模型任务管理

金属飞机结构的胶接修理技术研究

为减轻结构重量又保证足够强度，飞机结构常做成以铝合金为主要材料的薄壁结构。在长年的使用中，结构承载着复杂交变的载荷和环境的影响，飞机难免引起裂纹和腐蚀，势必对结构强度造

学位

飞机结构胶接修理技术表面处理

基于信息融合的惯性/卫星/天文组合导航研究

SINS/GNSS/CNS组合导航是中远程弹道导弹、巡航导弹、无人机等飞行器进行高精度、长航时导航的常用手段。本文以高空无人机为预想载体,基于信息融合理论进行了惯性/卫星/天文

学位

组合导航信息融合联邦滤波捷联惯性导航卫星导航天文导航无人机

基于预测函数控制的微运载火箭鲁棒姿态控制方法研究

为应对未来小卫星发射,构建快速响应空间能力,发展具备快速发射能力的低成本小型运载火箭是未来运载火箭发展的一个重要趋势。微运载火箭中低空与高空采用不同的执行机构,飞

学位

微运载火箭姿态控制侧喷流控制系统预测函数控制扰动抑制等效输入扰动广义扩张状态观测器拟线性变参多输入多输出

基于P沟道存储单元的高可靠性闪存设计

Flash是一种广泛应用于SoC上的重要存储器,在高密度数据的存储和嵌入式系统中的应用不断增加。随着工艺的进步,晶体管特征尺寸降低到了十个纳米的数量级,随机掺杂扰动等带来

学位

Flash可靠性P沟道浮栅MOS管外围电路版图设计整体仿真

流场中气泡的动力学特性分析与两相流参数检测

本文以在轨加注过程中两相流相关问题为背景,针对推进剂传输过程中气泡的存在及其不稳定性导致加注过程中推进剂流量的精确测量失效的问题开展研究。首先,基于流体的质量方程

学位

气泡动力学声传播两相流含气率

喉道顶板可调侧压式进气道初步研究

超燃冲压发动机是高超声速飞行器的理想动力装置。高超声速进气道作为其重要部件而得到了国内外有关机构的广泛研究。其中,高超声速进气道的起动性能和工作马赫数范围是决定

学位

侧压式进气道变几何喉道顶板可调数值模拟风洞实验溢流放气起动性能

面向微光学元件加工的纳米压印设备的优化设计

其他学术论文