【摘 要】
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目前主要利用微纳米三坐标测量机对具有高深宽/径比的微型器件进行高精度测量。而微球型探针作为微纳米三坐标测量机的核心部件,其加工尺寸和加工精度直接决定了微纳米三坐标测量机的性能。因此有必要研制出高精度、微小尺寸的一体化微球型探针,本文主要做了如下几项工作。1、对微球型探针制造工艺进行了总结,设计并搭建了基于电弧放电和液体表面张力原理制备微球形钨探针的实验装置。2、研究了电弧放电在氩气和空气中的不同特
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目前主要利用微纳米三坐标测量机对具有高深宽/径比的微型器件进行高精度测量。而微球型探针作为微纳米三坐标测量机的核心部件,其加工尺寸和加工精度直接决定了微纳米三坐标测量机的性能。因此有必要研制出高精度、微小尺寸的一体化微球型探针,本文主要做了如下几项工作。1、对微球型探针制造工艺进行了总结,设计并搭建了基于电弧放电和液体表面张力原理制备微球形钨探针的实验装置。2、研究了电弧放电在氩气和空气中的不同特征,并初步找到在氩气环境中对钨丝进行锥化处理和制备微球型钨探针的合适参数。3、研究了空气中不同放电参数如
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