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石墨烯,一种重要的单原子层厚度的二维碳结构,由于其超高的本征载流子迁移率、机械强度、热传导和透光性等特殊的性能,已经引起了许多研究领域的广泛关注。生长大面积高质量单层和多层石墨烯是拓展其在纳米电子器件、生物医药、太阳能电池、超级电容器和薄固体润滑剂等领域应用的基础。然而,最早报道的从石墨上剥离出石墨烯的方法受限于其微米尺寸的大小和低产量。还原氧石墨法兼具低成本和高产出的优点,可是这种方法制备的石墨烯表现出较差的电性能。相比之下,碳化硅衬底上可以生长出大面积高质量的石墨烯,但是碳化硅晶圆价格昂贵,而且