航空发动机涡轮叶片等结构部件力学参数的实时原位获取对预警机械事故、评估发动机使用寿命等具有重要意义。涡轮叶片长时间处于高温恶劣环境中,传统的应变传感器受焊点失效的影响,不能长期对结构部件进行状态监测。声表面波传感器以其尺寸小、优越的抗干扰能力、安装简单、可实现远距离传输在此领域显示出了重要的应用价值。硅酸镓镧是一种耐热的压电晶体材料,其高温下稳定性好,是制备耐高温声表面波应变传感器的理想晶体。本文的主要工作为:1、从声表面波器件的组成结构和工作原理出发,对耐高温声表面波应变传感器从器件类型、压电材料、电极材料、叉指换能器及反射栅的参数等方面进行设计。分析了应变传感器的应变敏感机理。2、通过建立传感器单个叉指周期的三维模型,仿真得到了传感器的正反模态谐振频率及声波的传播速度;提出了一种高灵敏度声表面波应变传感器结构,对该结构表面应变分布情况及灵敏度进行仿真分析,确定了该结构的最佳制备参数。对耐高温硅酸镓镧声表面波应变传感器进行制造,针对提出的高灵敏度应变传感器结构,对其湿法腐蚀工艺进行了探究。3、搭建了温度应变复合测试平台并对制备得到的传感器进行测试。实现了传感器在18-700℃温度范围,0-500με应变范围的测试。测试结果表明,传感器在700℃高温环境下仍然具有可靠的性能,传感器的灵敏度为20.09Hz/με,最大相对误差和滞后误差分别为3.35%和6.98%。针对温度对应变测试的干扰问题,提出了一种温度-应变解调算法模型,经解调后的应变值与参考应变值基本一致,最大误差在-4.2%到5.425%之间。