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基于热压键合硅酸镓镧技术的声表面波高温压力传感器研究
【摘 要】
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高温、高旋环境下,航天飞行器发展的主要瓶颈之一是其关键部位的温度、压力、振动多参数测试。声表面波技术可实现远距离无线无源传感,同时声表面波传感器具有结构简单、体积小、抗干扰性强等特点,更适合在狭小密闭的高温高旋环境中工作。硅酸镓镧是一种温度稳定性良好的压电晶体,同时具有机电耦合系数大、声表面波速度低等特点,是制备恶劣环境传感器的理想材料。本文主要研究工作如下:1、设计声表面波高温压力传感器的结构参
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
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