循环干涉型光纤陀螺仪及其集成化技术的研究

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基于光电子技术的集成光学陀螺仪(IOG)将是未来最有前途的新型陀螺仪之一.该文以"九五"国防预研项目"光波导陀螺技术研究"(8.7.1.7)的研制目标为背景,对IOG的系统方案进行了理论分析,建立了光纤实验装置,并进行了实验研究.研究了干涉型IOG的主要器件--集成光学Sagnac敏感环(SSR)的设计理论、SIO<,2>厚膜的制备工艺和光波导器件(PLC)与有源光电子器件之间的耦合结构.实现干涉型IOG的首要条件是缩短SSR的长度,该文对循环干涉型IOG的系统方案进行了深入的理论和实验研究,证实了光波在SSR中的多次循环.为了实现光波在SSR中的多次循环,必须提高光源功率.为此,对一种国外的超辐射发光二极管(SLD)产品进行了研究.测定了它的谱调制系数,建立了温度模型.该光源被用于Ⅱ型实验装置中,实验结果证明,提高光源输出功率提高了陀螺仪的精度.采用循环干涉型系统方案时,可以采用光波导模块制成低精度的IOG.为了研制其中的硅基光波导,作者研究了SiO<,2>厚膜的电子束蒸镀(EBE)工艺.在工艺过程中,引入O<,2>控制SiO<,2>膜的折射率.论文还研究了PLC与其它器件之间的耦合结构,分析了一种脊形光波导的基模分布.作者对法国LETI研究所提供的IOG芯片进行了实验研究.测定了该光波导与尾纤光束耦合时的位置允许误差,为中国今后设计硅基光波导SSR提供了理论方法和实验依据.
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