双扫描器宽范围原子力显微镜技术及系统

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【摘要】

：

纳米技术越来越成为当今世界科技发展的潮流,对现代科学技术的发展和社会进步起到重大的推动作用。以扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)为代表的扫描探针显微术(SPM)是纳米技术发展的重要基础,也是纳米科技工作者和研究人员必不可少的研究工具。其中以AFM的应用范围最为广泛,它可以在大气、液体等多种环境下对导体、半导体、绝缘体等多种材料进行检测,适应性很强。本文在分析国内外AFM技术研究和应用

【作者】

：

谢志刚

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2011年01期

【关键词】

：

原子力显微镜双扫描器宽范围高分辨率压力扫描二维电控步进扫描 SIFT特征提取 AFM图像拼接

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