宏微双驱动高精度二维运动平台的实现

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大行程精密定位技术是生物医学工程、微机电系统、精密光学工程和超精密加工等领域迅速发展的前提条件,它决定了研究对象的尺寸可以细微化到微米级甚至是纳米级,推动着现代科学技术的进步。而传统的单一驱动方式并不能同时满足大行程、高精度的定位要求,行程与定位精度之间的矛盾日益突出。因此,开展大行程精密定位系统的研究具有重大的理论和现实意义。宏微双驱动技术是实现大行程、高定位精度的一种有效策略,基于这一方法,本课题搭建了宏微双驱动高精度二维运动平台系统:宏驱动平台完成大行程要求的位移量,激光传感器测量宏驱
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