【摘 要】
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利用溶胶凝胶法,在石英玻璃的基底上沉积了镧系稀土元素和Al共掺的ZnO薄膜,利用了XRD衍射和SEM分别研究了薄膜的结构和表面形貌。在不同Er掺杂浓度和退火温度下研究了ZAOEr薄膜在8~14μm的红外发射率和光学性质。ZAOEr薄膜具有六方纤锌矿的结构,并且沿(002)晶向择优生长,可见光范围内的透光率在85%以上。薄膜的禁带宽度会随着Er含量的增加而出现红移。当激发波长为290nm时,可观察到
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利用溶胶凝胶法,在石英玻璃的基底上沉积了镧系稀土元素和Al共掺的ZnO薄膜,利用了XRD衍射和SEM分别研究了薄膜的结构和表面形貌。在不同Er掺杂浓度和退火温度下研究了ZAOEr薄膜在8~14μm的红外发射率和光学性质。ZAOEr薄膜具有六方纤锌矿的结构,并且沿(002)晶向择优生长,可见光范围内的透光率在85%以上。薄膜的禁带宽度会随着Er含量的增加而出现红移。当激发波长为290nm时,可观察到一个紫光发射和蓝光发射。当激发波长为370nm,可观察到一个强烈的绿光发射。CL谱中305nm
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