微细电火花加工技术因具有非接触式加工、无宏观切削力、对工具的强度和刚度要求低、材料适用范围广及可加工异型腔模等特点,近年来呈现出了强大的微尺度制造潜能,并已逐渐成为航空航天、能源动力、运载及医疗等领域核心装备中微小特征结构制造的关键技术。但是,微细电火花加工具有脉冲放电频率高、放电间隙狭小、微细电极损耗严重、蚀除产物排出困难、噪声干扰严重等众多复杂特性,导致在加工过程中难以开展准确有效的控制,致使加工过程极不稳定、加工效率低下,严重的限制了微细电火花加工技术的发展。因此,提高微细电火花加工的效率,保障加工过程高效高质量的进行,是提高微细电火花加工技术能力、进而提升精微加工领域整体制造水平的关键途径。本论文致力于突破高效微细电火花加工的技术瓶颈,在全面分析微细电火花加工机理及特点的基础上,针对影响高效微细电火花加工的关键性技术难题,开展了一系列关键技术的研究工作,包括高精度三维微细电火花加工实验平台研制、工艺参数多目标优化、加工过程智能控制策略研究、伺服运动在线预测与控制及电极补偿方法研究等,并综合应用研究方法开展了难加工合金材料微细通道阵列的电火花加工。具体研究内容如下：根据高效微细电火花加工技术对加工系统提出的高精度和高灵敏性需求,研制了一台高精度三维微细电火花加工机床。该机床由直线电机驱动Z轴电极精密运动平台,由交流伺服电机驱动X/Y轴工件精密运动平台；采用工业控制机、PMAC多轴运动控制器搭载数据采集卡的方式组成上、下位机模式的开放式数控系统；机床的智能软件控制系统集成了伺服运动控制、间隙信号采集、脉冲电源设置等功能。该机床在实际运行中性能稳定,为开展高效微细电火花加工关键技术的研究工作提供了良好的实验平台。针对微细电火花加工工艺参数多目标优化难题,采用支持向量机回归方法建立工艺参数与工艺目标的关系模型,并提出了一种基于非支配排序的多目标优化遗传算法,以支持向量机工艺模型的决策函数作为遗传算法的适应度函数,开展兼顾加工时间和电极损耗量这两项重要工艺指标的工艺参数优化,实验表明优化后的工艺参数组合可以明显缩短加工时间并可将相应的大幅度减小微细电极的损耗量。为解决微细电火花加工过程中由于放电频率高、放电信号严重畸变和噪声过大等情况造成的加工信息不确定性大的问题,基于区间Type-2模糊集合理论,提出了微细电火花加工两阶模糊控制方法,其中第一阶模糊系统为采样点放电状态辨识系统,第二阶模糊系统为伺服运动控制系统。加工实验表明所提出的两阶模糊控制方法与传统控制方法相比能显著的提高加工效率,同时还能获得良好的加工质量,特别是当加工环境恶化时,其控制优势会更加明显。为了克服传统控制方法的滞后性,分别开展了放电状态预测与伺服运动在线预测控制方法的研究：结合经验模式分解原理和线性预测方法,提出了一种微细电火花加工放电状态预测方法,预测结果表明该方法预测精度高,十分适用于放电状态此类时变非线性信号的预测;基于灾变灰色预测理论,提出了一种微细电火花加工伺服运动状态在线预测方法,将电极的回退视为灾变伺服运动,在检测当前放电状态的同时,同步实现对未来周期伺服运动状态(进或退)的预测,并与两阶模糊控制法相结合形成带有预测功能的伺服运动综合控制策略。实验结果表明,所提出的伺服运动在线预测控制方法能够大幅消除微细电极的连续回退现象,并可显著提高加工效率和加工质量。针对微细三维零件加工中微细电极损耗严重且加工效率较低等问题,提出了一种基于单层大切深加工方式的微细电极定长补偿方法,通过观测微细电极在加工不同长度后的形状变化揭示了在微细电火花铣削加工过程中电极的损耗规律,并根据损耗规律对传统的电极补偿模型进行修正,建立了单层大切深加工方式下的微细电极补偿模型。加工实验表明,与传统的多次分层往复扫描加工方式相比,利用所提出的电极补偿模型对大切深微细槽进行一次性加工,能够获得更高的尺寸精度,并能大幅提高加工效率。针对难加工合金微细通道电火花加工的需求,结合正交加工试验研究了几种典型难加工合金材料的微细电火花加工工艺规律,并综合应用本文提出的高效微细电火花加工关键技术研究方法,开展了难加工合金微细通道阵列的电火花加工实验。实验结果表明,应用本论文提出的高效加工关键技术研究方法,能够获得良好的微细通道加工质量,并可获得较高的加工效率。因此,本论文开展的高效微细电火花加工关键技术研究工作,对于解决具有微尺度特征的难加工材料关键零部件的精密、高效和批量加工的难题、以及在扩展微细电火花加工技术的应用领域、提高精微领域制造技术水平等方面均具有重要的研究意义。