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本文采用新型悬臂梁式可调谐垂直腔面发射激光器结构，将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统(Micro-Nano-Optical Machine System,MEMS),并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合,有效提高VCSEL耦合效率、实现单模输出、光波可调控制。