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对加速器和速调管中残余气体的来源进行了分析，并提出了获得高真空的新型抽气方法，例如组合真空泵和薄膜吸附。
速调管可借鉴的新型抽气方法
【摘 要】
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对加速器和速调管中残余气体的来源进行了分析，并提出了获得高真空的新型抽气方法，例如组合真空泵和薄膜吸附。
【机 构】
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中国科学院电子学研究所微波器件与技术研究发展中心
【出 处】
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中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会
【发表日期】
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2006年5期
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