基于测量平台的一种新型光电式平面度测量仪

来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:boy1000cn
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该文针对某种具有特殊表面平面的大型平面测量问题进行了研究,由于现有的接触式测量方法存在着精度差,效率低等问题,所以研究人员在实际工程课题的基础上,开发了一种基于测量平台的新型光电式平面度测量仪。该文对该仪器进行了详细的分析与介绍,并且给出了相应的实验结果。
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