【摘 要】
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微机械惯性仪表(包括微机械加速度计,Micro-Mechanical Accelerometer和微机械陀螺仪,Micro-Mechanical gyroscope)是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制做的MEMS器件, 在军民
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微机械惯性仪表(包括微机械加速度计,Micro-Mechanical Accelerometer和微机械陀螺仪,Micro-Mechanical gyroscope)是以IC工艺和微机械加工工艺为基础制做的MEMS器件, 在军民两用领域均有广泛的应用前景。本文在参考国内外有关文献的基础上,结合作者参加该项目预研的体会,重点对微机械加速度计和微机械陀螺仪类型的微惯性仪表在国内外的发展及现状作了综述。
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