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该文报道了一种双框架式微机械陀螺的设计与准LIGA制备工艺。采用有限元方法分析微陀螺结构参数对性能的影响,并设计出微机械陀螺的结构参数,可动区域面积0.8×0.9mm<’2>,厚度为3.9μm,内外框架本征振动频率相等且为2.51kHz。在结构设计的基础上,采用准LIGA工艺以铜作牺牲层、镍作结构层制备出微机械振动陀螺,并在大气中观察到其振动。全部工艺在低温(80℃以下)完成,且与集成工艺兼容,适合与信号放大和处理电路的芯片集成。