【摘 要】
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为解决超高真空测量中电离规离子流微弱信号的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波器以及零点调节电路,实现了10-13A 弱离子流的准确检测
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所国防科技工业真空一级计量站,兰州 730000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
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为解决超高真空测量中电离规离子流微弱信号的检测难题,设计采用精密运算放大器组成电流电压转换结构,配合低通滤波器以及零点调节电路,实现了10-13A 弱离子流的准确检测。本文介绉了弱离子流放大检测的原理、运算放大器选择原则、低通滤波器的设计原理、零点调节电路的设计斱法等,同时分析了T 型反馈电阻网络的缺陷,计算了检测电路的噪声电压等,配合研制的pA 级弱电流源进行了实验测试,离子流放大电路分辨率可以达到100fA,幵且具有噪声低,响应快等优点。
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