【摘 要】
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研制了一台校准压力范围为10-5Pa～105Pa 的现场真空校准装置.该便携装置由压力测量及校准模块、供气模块、抽气模块、压力衰减模块、烘烤模块5 部分组成.将不同种类单一成
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,兰州 730000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
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研制了一台校准压力范围为10-5Pa～105Pa 的现场真空校准装置.该便携装置由压力测量及校准模块、供气模块、抽气模块、压力衰减模块、烘烤模块5 部分组成.将不同种类单一成分的校准气体引入压力衰减模块,通过激光小孔衰减,可建立校准用标准压力pstd.上游室压力变化范围为1Pa～103Pa,相应地,校准室内对应的标准压力范围10-5Pa～10-2Pa,测量不确定度为2.3％.另外,该装置可采用不标准真空计直接比较进行动态戒静态校准,其极限真空度为10-6Pa 量级.对暴露大气后的抽气特性及放气率及主要的计量特性进行了实验研究.实验结果表明,该装置的校准范围可达1.96×10-5 Pa～1.03×105Pa,合成标准不确定度为2.8％～0.40％.
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