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电子回旋共振等离子体因具有低气压、高密度、均匀等优点而被广泛地应用于航天领域，等离子体建模仿真需要考虑磁场、电场、流体力学、传热、质量传输、化学反应等一系列现象，是一个真正的多物理场耦合问题.为了分析等离子体静电探针校准装置中电子回旋共振等离子体参数的分布规律，本文建立了二维轴对称模型，利用Comsol 软件对等离子体进行了数值模拟，研究了从300W 到1000W 不同微波功率、从0.01Pa 到10Pa 不同环境气压、从200K 到1000K 的不同温度范围、从40A 到100A 的磁场电流等参数对等离子体分布的影响，得出了微波功率和环境压力是影响等离子体分布的主要因素.