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以SiO<,2>/Si,Au/SiO<,2>/Si和玻璃为基片,利用直流磁控溅射装置淀积了nc-ZnO薄膜,应用磁控溅射技术淀积压电nc-ZnO薄膜可以减小电子对nc-ZnO薄膜表面的轰击损伤,增加电子与反应粒子的碰撞几率,同时又减小界面应力,实验获得nc-ZnO薄膜的晶粒尺寸约为25nm,电阴率ρ>10<9>Ω·cm,晶面族(002)X射线衍射峰位置2θ=34.44,有很好的晶态c轴取向。