【摘 要】
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采用逆向混合(IMO)溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO/Si(100)和NiTi/Ti/Si(100)基片制备Pb(ZrTi)O薄膜,以PZT/Pt/Ti/SiO/Si和PZT/NiTi多层结构(简称PZT/Si和PZT/NiTi结构)为基础制备膜式微驱动器.系统测量了膜式微驱动器的谐振频率、弯曲位移等特性,并比较了两种结构微驱动器的动态工作特性.实验结果表明PZT逆压电效应与NiTi SMA的
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院(上海)
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采用逆向混合(IMO)溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO<,2>/Si(100)和NiTi/Ti/Si(100)基片制备Pb<,1+x>(Zr<,y>Ti<,1-y>)O<,3>薄膜,以PZT/Pt/Ti/SiO<,2>/Si和PZT/NiTi多层结构(简称PZT/Si和PZT/NiTi结构)为基础制备膜式微驱动器.系统测量了膜式微驱动器的谐振频率、弯曲位移等特性,并比较了两种结构微驱动器的动态工作特性.实验结果表明PZT逆压电效应与NiTi SMA的伪弹性效应耦合,从而设计制备位移量大,响应快的PZT/NiTi膜式微驱动器是可能的.
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介绍了一种利用体硅工艺实现的电容式微机械陀螺.陀螺的驱动模态和检测模态采用互相独立的弹性梁结构,可以减弱两个模态间的机械耦合.利用有限元仿真软件ANSYS对结构进行了优化,可以保证陀螺两个工作模态的良好匹配.
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