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细微区尺度的微机电系统是μｍ／ｎｍ尺度的机械与电路集成一起完成信息获取、处理及执行功能的系统，在科学技术上的大突破表现在以批量化的微电子技术制造微机械与电路集成一体，从而构成各式各样的微光机电系统。展望了细微区尺寸的微光机电系统研究与开发的最新进展，并提出近期的研究课题。
细微区尺度的微机电系统的研究与应用展望
【摘 要】
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细微区尺度的微机电系统是μｍ／ｎｍ尺度的机械与电路集成一起完成信息获取、处理及执行功能的系统，在科学技术上的大突破表现在以批量化的微电子技术制造微机械与电路集成一体，从而构
【机 构】
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工业大学机电一系(广州)
【出 处】
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全国先进设计方法与现代制造技术学术研讨会暨全国青年设计成果交流会
【发表日期】
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1999年期
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