论文部分内容阅读
一种新型的干法刻蚀技术——磁增强反应离子刻蚀
【机 构】
:
市新开达电子公司
【出 处】
:
中国电子学会真空电子学分会第十届年会
【发表日期】
:
1995年期
其他文献
2011-2012中国连锁零售企业经营状况分析报告发布。 8月16日,中国连锁经营协会与德勤会计师事务所共同发布了《中国连锁零售企业经营状况分析报告2011- 2012》。 中国连锁零售企业作为先进的零售经营模式,经过三十多年的高速发展,已成为中国经济的一个重要组成部分。中国连锁经营协会开展连锁百强排名以来,百强规模从2001年的1620亿到2011年的1.65万亿,十年间持续高速增长,翻了9
该文报道了用一台新型弧热氮原子束源进行氮化物薄膜的合成。氮原子束的强度达到10〈’19〉原子/弧度.秒,平均动能在1-2eV左右。该氮原子束源的工作气体为纯氮气,起弧方式为由辉光放电向弧
高中英语教学中词汇教学是非常关键的一个重要问题,为此,进行了阐述。
Vocabulary teaching in high school English teaching is a very important and important issue. T
简要叙述了锗基片微光学元件红外宽带减反膜的设计与制作。着重介绍了离子束辅助淀积制备该膜系的过程,给出了用该方法制作8~12μm波段的减反膜的测试曲线,它具有峰值透过率高,在
采用低能O离子束辅助脉冲激光淀积(IBA-PLD)法进行ZnO薄膜外延生长研究。X射线衍射(XRD)结果表明,有低能O离子束辅助淀积,利用波长为532nm的Nd:YAG固体脉冲激光,在P-Si(111)衬底
离子束辅助沉积(IBAD)是集离子注入和真空镀膜技术的优点下一体的材料表面改性新技术,在材料的腐蚀防护、装饰等方面获得工业应用。该文探索应用IBAD于特种金属铀的腐蚀防护。通