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为完善超声电解同步复合微器件微细加工试验系统，设计了微位移工作台和超声阴极工具头微进给机械结构，提出了相应的微位移检测和进给控制方案，进行了一系列基础工艺试验，展示了该技术在提高微细加工精度、加工效率、表面质量等方面的优势，研究成果具有重要理论意义与实用价值。
超声电解同步复合微细加工中微位移的实现与检测
【摘 要】
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为完善超声电解同步复合微器件微细加工试验系统，设计了微位移工作台和超声阴极工具头微进给机械结构，提出了相应的微位移检测和进给控制方案，进行了一系列基础工艺试验，展示了该技术在提高微细加工精度、加工效率、表面质量等方面的优势，研究成果具有重要理论意义与实用价值。
【机 构】
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南京航空航天大学机电学院 南京 210016 南京航空航天大学机电学院 南京 210016;江苏农
【出 处】
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2007年中国机械工程学会年会
【发表日期】
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2007年8期
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