论文部分内容阅读
提出用超声复合电加工方法制作微小结构，并分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理；用微细放电组合技术制作多种截形微细工具电极；完善超声复合电加工试验系统，进行多种材料、形状微结构超声复合加工试验．结果表明：超声复合加工是制作硬脆材料微结构的有效方法；超声复合电火花加工金属材料微结构有良好的精度及稳定性；超声复合电解加工具有效率高、精度好的技术优势．