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武汉大学加速器装置包含三部分：(1)加速器-电镜联机：由串列加速器、离子注入机和透射电镜构成，离子束水平进入电镜室，与电镜样品的夹角为0～52o；(2)团簇负离子靶室：安装在铯溅射离子源与加速管之间，利用溅射离子源及其吸极、偏转系统，用石墨靶进行了碳团簇离子束引出实验，测量到团簇负离子质谱，可用于超薄材料制备，团簇靶室的引入不影响整个加速器的离子光路；(3)RBS-PIXE 靶室：设计了RBS-PIXE 联合测试系统，把RBS/C 与PIXE 合并到一个靶室，对沟道能谱的步进电机驱动器进行了数字化改造，实现了自动沟道扫描。