【摘 要】
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武汉大学加速器联机装置主体设备是1.7MV串列加速器和200kV离子注入串列加速器束线可进行团簇注入和离子束分析.更新了1.7MV串列加速器的加速管,对离子能量进行了校准,可
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院,武汉430072
【出 处】
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第九届全国高压型加速器技术及应用学术交流会
论文部分内容阅读
武汉大学加速器联机装置主体设备是1.7MV串列加速器和200kV离子注入串列加速器束线可进行团簇注入和离子束分析.更新了1.7MV串列加速器的加速管,对离子能量进行了校准,可稳定输出1.2MV的主高压.用Labview 程序对RBS/C靶室的控制系统进行了数字化改造,实现了沟道能谱测试自动扫描,建立了包含RBS/C、ERD和NRA的离子束分析靶室.通过对单晶硅、Ni/Si、BiFeO3：La/Si、MoC/Mo/Si和TiBN/Si样品的定性测试和定量分析,对离子束分析束线进行了系统的运行调试.其中,BiFeO3：La薄膜的RBS谱被用于对探测系统进行校准,用RBS/C 能谱测量了单晶硅的结晶性,得到精确的结晶度(min=3.01％).对薄膜样品,离子束分析测得的厚度与SIMNRA 软件模拟的结果相符甚好.用RBS和非卢瑟福背散射对PVD沉积的MoC/Mo/Si多层膜的元素成分和TiBN薄膜的化学配比进行了成功的测试分析.
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