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为研究重掺杂硅单晶中氧的行为，克服由于强烈自由载流子吸收的干扰所造成的红外测氧困难，该文首次采用低温４．２Ｋ、超薄样品的傅立叶变换红外吸收光谱法（ＦＴＩＲ）测得重掺杂硅单晶中间隙氧吸收峰，并借助轻掺杂样品的参比，对该条件下氧含量计算的转换因子进行标定。结果表明，重掺硼硅中的氧含量明显高于重掺锑硅中的氧含量。