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提拉法晶体生长控制实践和现代控制理论各自发展到了相对成熟的阶段，但是，实际应用于提拉法晶体生长的控制技术并非在现代控制理论框架的指导下实现，传统的正负反馈理论和PID运算技术已经可以实现较好的提拉法晶体生长控制。
提拉法晶体生长控制过程的现代控制理论描述与分析
【摘 要】
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提拉法晶体生长控制实践和现代控制理论各自发展到了相对成熟的阶段，但是，实际应用于提拉法晶体生长的控制技术并非在现代控制理论框架的指导下实现，传统的正负反馈理论和PID运算技术已经可以实现较好的提拉法晶体生长控制。
【机 构】
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中国科学院合肥物质科学研究院 中国科学院大学
【出 处】
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第17届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2015年5期
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