硅单晶寿命测量方法及探讨

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寿命的测量方法有几种,每一种方法的测量结果都不同,对测量样品的要求也不尽然。那一种是最好的最准确的呢?其实没有答案。本文主要介绍两种测试方法,一种方法是高频光电导法,另一种方法是微波光电导法。前者适合测量棒状晶体且通常不需要钝化,后者适合测量片状晶体且需要钝化。两者的测量结果一般不具可比性。另外,本文还阐述了其测试原理,影响寿命测试的几个因素,去除表面复合作用影响的方法以及工艺方面的问题。
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