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本文论述了国内外微电子可靠性技术发展状态,着重论述了可靠性设计、制造过程的质量与可靠性、失效分析技术发展与应用,指出可靠性设计与可靠性评价将成为未来国内集成电路可靠性技术发展的两条主线.
微电子可靠性技术发展动态
【摘 要】
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本文论述了国内外微电子可靠性技术发展状态,着重论述了可靠性设计、制造过程的质量与可靠性、失效分析技术发展与应用,指出可靠性设计与可靠性评价将成为未来国内集成电路可
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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中国电子学会可靠性分会第十一届学术年会
【发表日期】
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2002年9期
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