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用纯铝制作薄膜晶体管型液晶显示板（ＴＦＴ－ＬＣＤｓ）的配线膜耐热性差，使用铬、钼、钽等高熔点金属时又产生电阻值高的问题。研究发现，在铝中加入高熔点金属（如钛、钽等）是解决问题的有效方法。该研究介绍用磁控溅射法沉积得到的Ａｌ－Ｔｉ合金膜的性能。
TFT-LCDs配线膜的Al-Ti合金膜性能的研究
【摘 要】
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用纯铝制作薄膜晶体管型液晶显示板（ＴＦＴ－ＬＣＤｓ）的配线膜耐热性差，使用铬、钼、钽等高熔点金属时又产生电阻值高的问题。研究发现，在铝中加入高熔点金属（如钛、钽等）是解决问题的有效方法。该
【机 构】
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有色金属研究总院
【出 处】
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全国第六届材料科学与工程、合金加工学术会议
【发表日期】
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1997年期
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