高功率MPCVD 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高功率MPCVD相关论文

工艺参数对高功率MPCVD金刚石膜择优取向的影响研究

使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置,以H2-CH4为气源、沉积功率8 kW条件下,在不同CH4浓度、沉积温度和气体流量工艺条件下制备了......

期刊

金刚石膜高功率MPCVD 工艺参数择优取向 diamond film MPCVD process parameters preferred or

看过本文同时还关注