使用射频磁控溅射,在正方形石英衬底上沉积透明导电掺Al的ZnO(AZO)和Si共掺AZO(AZO:Si)薄膜.系统研究了靶-基底距离(Dst)和Si共掺......

使用射频磁控溅射,在正方形石英衬底上沉积透明导电掺Al的ZnO（AZO）和Si共掺AZO（AZO：Si）薄膜.系统研究了靶-基底距离（Dst）和Si共掺对AZO薄......