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逆光刻技术相关论文
数字光刻成像算法及其掩模优化方法研究
近年来,基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字光刻技术引起了人们的极大的关注。DMD作为数字光刻系统的掩模发生器,具有灵活、低成本......
学位
数字光刻
部分相干成像
灰阶掩模
掩模优化
逆光刻技术
共轭梯度算法
部分相干照明下的光刻掩模图形优化方法研究
随着光刻关键尺寸的下降,由于光学衍射效应造成的光学临近效应对光刻图形造成的畸变会导致光刻的输出图形与目标图形有一定差距,甚至......
学位
光刻掩模优化
部分相干成像
光学临近校正
逆光刻技术
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