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连通式双反应室相关论文
连通式双反应室高温MOCVD系统
本文研究连通式双反应室高温金属有机化学气相淀积(MOCVD)系统克服半导体薄膜材料在异质外延中的晶格失配和热失配等问题.有利于制......
会议
连通式双反应室
金属有机化学气相淀积
异质外延
晶格失配
结构材料
薄膜材料
热失配
半导体
系统
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