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氢化非晶硅局域态电荷密度的解析统一模型
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期刊
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徐重阳
辉光放电沉积非晶态硅薄膜的光电性
本文报道了通过电导和光电导的测量,了解用硅烷辉光放电工艺制备非晶态硅薄膜(简称GD-aSiHx)的基本特性。试验结果指出,我们制备的......
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