用计算全息(CGH)模拟理想非球面主镜的反射波面,用补偿器对该计算全息进行检验,只要计算全息的制作误差能够满足要求,就能实现直接......

用于Ф1．2mF／1．5主镜面形检验的补偿器，需要补偿0．087mm的非球面度，并满足0．033λ（RMS）面形检测要求。介绍了该补偿器的设计、误差分析、加......