薄膜铌酸锂相关论文
宽带电光调制器是高速光通信和微波光子系统的重要器件,其调制带宽、带内平坦度和半波电压对于系统的整体性能至关重要。相比于块......
针对传统铌酸锂电光调制器体积大、带宽不高等技术问题，基于薄膜铌酸锂调制器芯片，提出了薄膜铌酸锂调制器的设计方法，给出了薄膜铌酸......
本文对刻蚀用掩膜、气体，以及气体总流量、ICP/RIE功率、反应室压力等工艺参数对刻蚀速率、刻蚀面粗糙度、脊波导侧壁角度的影响进......
随着光通信技术的进步,光电子器件正朝着高性能、低功耗、低成本、小型化集成器件的方向发展。电光调制器（Electro-Optic Modulator......
基于薄膜铌酸锂(Lithium Niobate on insulator,LNOI)材料平台,设计并制备了中心波长1 550 nm、4通道且通道间隔为400 GHz的阵列波......
高速电光调制器是宽带光通信网络和微波光子系统中的关键元器件之一.相对于体材料铌酸锂而言,薄膜铌酸锂材料由于其较强的光场限制......
电光调制器(Electro-optic modulator,EOM)在连接电场和光场方面发挥着至关重要的作用.本文中我们提出了一种基于绝缘体上铌酸锂(l......
从铌酸锂电光调制器的工作原理出发,介绍了不同种类的薄膜铌酸锂波导技术和近年来部分具有代表性的薄膜铌酸锂电光调制器研究进展,......
对近年来有关 LiNbO3薄膜的制备方法、性能及应用前景作了综述.比较详细地阐述了LiNbO3薄膜的几种主要制备方法及其优缺点,分析了......
介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望。......
